Hibah inovasi ITS adalah pendanaan penelitian inovasi dengan menggunakan dana lokal ITS dan khusus diperuntukkan bagi dosen ITS. Hibah yang bersifat kompetisi diharapkan memenuhi beberapa kriteria antara lain:
Memiliki luaran produk/teknologi siap untuk dikomersialisasikan
Memiliki mitra fabrikator/industri yang akan mengkomersialisasikan hasil penelitian
Kolaborasi inventor ITS dan mitra fabrikator/industri secara sinergis diharapkan dapat mengantarkan prototipe menjadi produk/teknologi baru yang sesuai standar industri atau memiliki sertifikat serta siap diproduksi